Gaswäscher für die Vakuumbeschichtung

Bei der Vakuumbeschichtung von Spezialoberflächen wie beispielsweise Titanmetall, Glasreflektoren und Hartmetallschneidwerkzeugen wird Titantetrachlorid (TiCl₄) verwendet und als Abgas freigesetzt. Auch bei der Polymerisation von Acetylen wird Titantetrachlorid eingesetzt.

VSS-Umwelttechnik hat eine 3-stufige Abluftanlage zur chemischen Umsetzung von Titantetrachlorid zu Chlorwasserstoff (HCl) entwickelt, die sowohl die träge Hydrolyse aufgrund der Reaktionskinetik als auch die feine Titandioxidstaubbildung im Submikronbereich berücksichtigt. Die Anlage besteht aus Reaktionskammer, Füllkörperkolonne und Treibstrahlventilator kombiniert mit einem Aerosolabscheider.

Unsere 3-stufige TiCl₄/HDMSO-Waschkolonne erreicht Reingaswerte von < 10 mg/m³ HCl, < 3 mg/m³ Cl₂ und Staubwerte von < 20 mg/m³.