Abluftwäscher für die Halbleiterfertigung

VSS-Umwelttechnik liefert Prozessgaswäscher, die speziell auf die Abscheidung von Gasen aus Epitaxieprozessen ausgelegt sind.

Der so genannte "Point of Use"-Prozessgaswäscher wird unmittelbar an die Prozessmaschinen angeschlossen. Ausführungen mit mehreren Gaseintrittsystemen ermöglichen auch den Anschluss an Mehrkammersysteme oder AP/RP-Prozessanlagen.

Alle Anlagen der VSS-Umwelttechnik gewährleisten eine hohe Sicherheit sowie lange Prozesslaufzeiten bei den unterschiedlichsten Verfahren. Die Auflagen aus der ATEX Direktive 94/9/EC und die Verhinderung von elektrostatischer Aufladung werden berücksichtigt.

• EPITAXIE (AP, AP/RP)
• APCVD
• RPCVD
• Oxidation
• NOx-Prozess
• Diffusion
• Plasma Etch
• LPCVD
• Furnace

EPI - Gaswäscher für die Halbleiterfertigung