Epitaxie-Wäscher

VSS-Umwelttechnik liefert Prozessgaswäscher, die auf die Abscheidung von Gasen aus Epitaxieprozessen ausgelegt sind. 

VSS-Umwelttechnik hat speziell für die Halbleiterfertigung den Wäschertyp PURGAVI entwickelt. Er eignet sich für Epitaxieprozesse, bei denen Trichlorsilan (TCS) und Dichlorsilan (DCS) mit Wasserstoff (H₂) als Trägergas eingesetzt werden. Bei der Verwendung von konzentrierter Lauge ist auch die Abscheidung von Silan möglich.

Alle Anlagen der VSS-Umwelttechnik gewährleisten eine hohe Sicherheit sowie eine lange Prozesslaufzeit bei den unterschiedlichsten Verfahren. Die Auflagen aus der ATEX Direktive 94/9/EC und die Verhinderung von elektrostatischer Aufladung gemäß BGR 132 werden berücksichtigt.
Der Prozessgaswäscher PURGAVI entspricht dem neuen Geräte- und Produktsicherheitsgesetz (GPSG).

Um eine elektrostatische Aufladung der Rohrleitung zwischen Prozessabgasleitung - in der Regel aus 1.4571 - und dem Nassteil des Gaswäschers zu verhindern, wird die Gaseintrittsrohrleitung aus einem elektrisch leitfähigen Kunststoff gefertigt.