真空处理业中的废气处理

在钛金属，反射玻璃和硬金属切割工具的表面镀层工艺上，使用四氯化钛作为催化剂并作为废气排放，另外，在乙炔聚合中也使用四氯化钛。

VSS研制开发出通过化学变化将四氯化钛转换成氯化氢的三级废气处理设备。它由反应釜滤料区和风机组成， 并附有一个雾化凝结器。

三级TiCL4/HDMSO型处理器可以使废气经处理达到氯化氢小于10 mg/m³，氯气小于3 mg/m³以及粉尘小于20 mg/m³。