其它方法

VSS与DAS Dresden共同研发了处理液的循环系统，此装置是为处理半导体工艺废气的燃烧炉做配套的设备。

设备被安装在燃烧器内，以清洗燃烧后释放的废气。此设备由于它的易于操作并且可直接中和反应后的废气的优越性能而申请了专利。

这是一套操作方便，安全及经济的优化系统装置，必要的组件都安装在循环系统中。VSS将基于长期的专业经验根据客户的要求给出最优的方案。