EPI 工艺废气处理设备

VSS技术为EPI工艺中所产生的废气提供处理器。

为半导体工业提供的PURGAVI处理设备(如图所示)，用于处理EPI工艺过程中产生的三氯甲烷(TCS)、二氯甲烷(DCS)与氢气载体(H₂)。用强碱液能实现硅烷的分离处理。

VSS的系统设备高效可靠耐用，并完全符合ATEX 94/9/EC规范和BGR132的规定，同时PURGAVI处理设备也能满足德国设备安全条例(GPSG)。

为避免不锈钢制的废气导管和处理设备潮湿部分带电，气体导入管采用了电传导塑料。